【技術(shù)突破:導(dǎo)模法鑄就"硬核"品質(zhì)】
藍(lán)寶石管(Al?O?單晶)因其優(yōu)異的耐高溫、抗腐蝕及光學(xué)穿透特性,是GaN外延生長的首選襯底材料。區(qū)別于傳統(tǒng)提拉法,我院采用的導(dǎo)模法(EFG)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石管的精準(zhǔn)尺寸控制與連續(xù)化生產(chǎn),產(chǎn)品純度達(dá)99.999%,晶格完整性遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。配備2100°C真空鎢絲退火爐、X射線定向儀等精密設(shè)備,我們可提供直徑2-12英寸、壁厚0.5-10mm的定制化藍(lán)寶石管產(chǎn)品,滿足從LED芯片到功率半導(dǎo)體的全場景需求。 【應(yīng)用場景:從5G基站到新能源汽車】
在半導(dǎo)體領(lǐng)域,藍(lán)寶石管作為SOI(絕緣體上硅)襯底,能有效降低晶體管電容效應(yīng),使器件運(yùn)算速度提升30%以上,功耗降低40%。在光電子領(lǐng)域,基于藍(lán)寶石管的GaN基LED器件已占據(jù)全球80%市場份額。隨著5G毫米波射頻器件、新能源汽車充電樁對高頻、高功率器件的需求激增,大尺寸藍(lán)寶石管更成為12英寸晶圓制造的核心載體——這正是我院重點(diǎn)攻關(guān)的戰(zhàn)略方向。 【產(chǎn)學(xué)研融合:打造長三角晶體材料高地】
坐落于溧水高鐵新城,研究院擁有2100mm2超凈廠房及全鏈條晶體生長加工能力。依托同濟(jì)大學(xué)晶體材料學(xué)科優(yōu)勢,我們不僅提供標(biāo)準(zhǔn)藍(lán)寶石管產(chǎn)品,更可為半導(dǎo)體企業(yè)定制熱交換法、提拉法等特殊規(guī)格管材。2020年獲評高新技術(shù)企業(yè)以來,我院藍(lán)寶石管產(chǎn)品已通過多家頭部芯片企業(yè)驗(yàn)證,廣泛應(yīng)用于MOCVD設(shè)備、真空鍍膜腔體及高溫反應(yīng)器窗口等關(guān)鍵部位。
【未來展望:助力國產(chǎn)替代】
面對半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化浪潮,南京同溧晶體材料研究院將持續(xù)深耕藍(lán)寶石管制備技術(shù),推進(jìn)8-12英寸大尺寸產(chǎn)品量產(chǎn),為GaN-on-Sapphire功率器件、Micro-LED顯示技術(shù)提供關(guān)鍵材料支撐。選擇我們的藍(lán)寶石管,就是選擇更穩(wěn)定的晶格匹配、更低的位錯(cuò)密度、更長的器件壽命!