單靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-16-1HD

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要

主要參數(shù)

1、電源電壓：220v  50Hz
2、功率：900W
3、腔體內(nèi)徑：φ164mm
4、極限真空度:9.0×10-4Pa
5、樣品臺(tái)加熱溫度：RT-500℃，精度±1℃（根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）
6、靶槍數(shù)量：1個(gè)（在真空室下方）
7、靶槍冷卻方式:水冷
8、靶材尺寸：φ2〞，厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）
9、樣品臺(tái)：φ86mm
10、樣品臺(tái):1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)。
11、直流濺射功率：500W；射頻濺射功率：300W。
12、開(kāi)關(guān)蓋方式：自動(dòng)升降上蓋。
13、工作氣體:Ar等惰性氣體。
進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)氣，1-100SCCM可調(diào)。

產(chǎn)品規(guī)格

14、產(chǎn)品規(guī)格：
·尺寸：
主機(jī)尺寸：750mm×450mm×1020mm
真空室規(guī)格：φ164×172mm
·重量：100kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1直流電源控制系統(tǒng)1套
2射頻電源控制系統(tǒng)1套
3分子泵（德國(guó)進(jìn)口或者國(guó)產(chǎn)更大抽速）1臺(tái)
4冷水機(jī)1臺(tái)
5冷卻水管（Ø6mm）2根

可選配件

1、金、銦、銀、白金等各種靶材，可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。
2、膜厚檢測(cè)系統(tǒng)。