VTC-600-1HD單靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號

VTC-600-1HD

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要

主要參數(shù)

1、電源電壓：220V  50Hz
2、功率：<1KW（不含真空泵）
3、腔體內(nèi)徑：?300mm
4、極限真空度：9.0×10-4Pa
5、樣品臺(tái)加熱溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）
6、靶槍數(shù)量：1個(gè)（可選配其他數(shù)量）
7、靶槍冷卻方式：水冷
8、靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）
9、直流濺射功率：500W；射頻濺射功率：300W。（靶電源種類可選，可選擇直流或射頻電源）
10、載樣臺(tái)：?140mm，可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能，以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。
11、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
12、工作氣體：Ar等惰性氣體
13、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，一路為100SCCM，另一路為200SCCM。

產(chǎn)品規(guī)格

1、主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm
2、整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm
3、重量：160kg
4、真空室規(guī)格：φ300×300mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1、直流電源控制系統(tǒng)1套（可選）
2、射頻電源控制系統(tǒng)1套（可選）
3、冷水機(jī)1臺(tái)
4、聚酯PU管（?6mm）4m

可選配件

1、金、銦、銀、白金等各種靶材，可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。
2、膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)
3、分子泵（德國進(jìn)口或者國產(chǎn)更大抽速）