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簡要描述：GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計而成的Z簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。本機特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2022-09-16訪 問 量：1765詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,電子/電池 |
GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理（直流二極濺射鍍膜是指在真空環(huán)境中利用粒子轟擊靶材產(chǎn)生的濺射效應，使得靶材原子或分子從固體表面射出，在基片上沉積形成薄膜的過程。屬于物理 氣相沉積（PVD）制備薄膜技術(shù)的一種。）設(shè)計而成的簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。該設(shè)備體積小，節(jié)省實驗室空間，操作簡單，尤其適合實驗室使用。
1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。
2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得良好鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
6、已通過CE認證。
| 產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀 | |
| 產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-SPC-16-3 | |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上 5、通風裝置：不需要 | |
| 主要參數(shù) | 1、靶：?45mm 2、真空室：?160mm×120mm 3、真空度上限：≤4×10-2mbar 4、靶位：3個 5、電流上限：50mA 6、可設(shè)定時間上限：900s 7、微型真空氣閥：連接?3mm軟管 8、電壓上限：1600V DC 9、機械泵：2L/s | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：400mm×300mm×400mm 重量：30kg | |
| 標準配件 | 1、金靶材1個 2、銅靶材1個 3、鋁靶材1個 4、進氣針閥1個 5、保險絲2個 | |
| 可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | |
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